

Высокоточные роботы серии TTS обладают невероятно плавным ходом за счет специально разработанного привода, а телескопический механизм обеспечивает высокоскоростные манипуляции как в верней, так и в нижней позиции. Вся серия роботов TTS соответствует стандартам SEMI-F47 и SEMI-S2
Робот серии TTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без трека.
| Модель | Базовая комплектация | Дополнительные функции | ||
|---|---|---|---|---|
| TTS10 | TTS20 | |||
| Тип | Горизонтальный шарнирный типа
| - | ||
| Рука | Одна рука
| Двурукий
| - | |
| Управляемые оси (степени свободы) | 4 | 5 | - | |
| Угол поворота | θ1 axis (вращение・JT2)(°) | 340 | - | |
| Z axis (вверх-вниз・JT3)(мм) | 740 | - | ||
| θ2 axis (врещение・JT4)(°) | 340 | - | ||
| H1 axis (вращение・JT6)(°) | 340 | - | ||
| H2 axis (вращение・JT7)(°) | - | 340 | - | |
| Предельная досягаемость (мм) | 1 066 | - | ||
| Повторяемость (мм)*1 | ±0.1 (Центр диска ) | - | ||
| Класс чистоты *2 | ISO Class 1 | - | ||
| Спецификация захвата*3 | - | - | Концевой / Вакуумный захват
| |
| Контроллер | D60 | Обучающий пульт
| ||
| Кабель (1-5м)*4 | Пульт управления
| |||
| ПО | Стандартное ПО для управления
| KRET | ||
| KMTerm | KR3D | |||
| KSUtility Lite | KSUtility | |||
| Руководство по эксплуатации | Руководство по эксплуатации
| - | ||
| Руководство по командам связи
| - | |||
| Процедура внедрения интегрированного пакетного ПО (K-Fast) | - | |||
| Другое | - | Позиционер
| ||
| - | Датчик отображения
| |||
*1: Значение соответствует ISO9283 .
*2: Измерения производились на нашем стерильном стенде .
*3: Стандартная комплектация не включает в себя захват .
*4: Возможна длина кабеля от 1 до 5 метров (1, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, and 5).