Высокоточные роботы серии TTS обладают невероятно плавным ходом за счет специально разработанного привода, а телескопический механизм обеспечивает высокоскоростные манипуляции как в верней, так и в нижней позиции. Вся серия роботов TTS соответствует стандартам SEMI-F47 и SEMI-S2
Робот серии TTS может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без трека.
Модель | Базовая комплектация | Дополнительные функции | ||
---|---|---|---|---|
TTS10 | TTS20 | |||
Тип | Горизонтальный шарнирный типа
| - | ||
Рука | Одна рука
| Двурукий
| - | |
Управляемые оси (степени свободы) | 4 | 5 | - | |
Угол поворота | θ1 axis (вращение・JT2)(°) | 340 | - | |
Z axis (вверх-вниз・JT3)(мм) | 740 | - | ||
θ2 axis (врещение・JT4)(°) | 340 | - | ||
H1 axis (вращение・JT6)(°) | 340 | - | ||
H2 axis (вращение・JT7)(°) | - | 340 | - | |
Предельная досягаемость (мм) | 1 066 | - | ||
Повторяемость (мм)*1 | ±0.1 (Центр диска ) | - | ||
Класс чистоты *2 | ISO Class 1 | - | ||
Спецификация захвата*3 | - | - | Концевой / Вакуумный захват
| |
Контроллер | D60 | Обучающий пульт
| ||
Кабель (1-5м)*4 | Пульт управления
| |||
ПО | Стандартное ПО для управления
| KRET | ||
KMTerm | KR3D | |||
KSUtility Lite | KSUtility | |||
Руководство по эксплуатации | Руководство по эксплуатации
| - | ||
Руководство по командам связи
| - | |||
Процедура внедрения интегрированного пакетного ПО (K-Fast) | - | |||
Другое | - | Позиционер
| ||
- | Датчик отображения
|
*1: Значение соответствует ISO9283 .
*2: Измерения производились на нашем стерильном стенде .
*3: Стандартная комплектация не включает в себя захват .
*4: Возможна длина кабеля от 1 до 5 метров (1, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, and 5).