Чистые роботы
Высокопроизводительные специализированные роботы для перемещения. Kawasaki предлагает полную линейку промышленных роботов с лучшими в отрасли техническими характеристиками. Эти роботы предназначены для работы в чистых и стерильных и чистых помещениях, соответствующих классу чистоты ISO 1. Скорость, точность и радиус действия делают этих роботов идеальными для работы с хрупкими полупроводниковыми пластинами, ЖК-панелями и солнечными батареями.
Плавный ход
Промышленные роботы серий NTS и TTS могут получить доступ к 2 и 3 FOUP с EFEM без трека. Специально разработанная система привода позволяет роботу двигаться невероятно плавно и с высокой точностью.
Уникальный высокопрочный телескопический механизм
В конструкции промышленных роботов серии TTS реализуется горизонтальный шарнирный манипулятор на жестком основании, что и в серии NTS. Это обеспечивает высокоскоростные операции как в верхнем, так и в нижнем положениях.
Соответствие стандартам SEMI
Промышленные роботы серий NTS и TTS соответствуют стандартам SEMI-F47. Они также соответствуют стандартам SEMI-S2 в части охраны окружающей среды и личной безопасности.